飞行时间二次离子质谱法

Time of Flight Secondary Ion MassSpectrometry :TOF-SIMS

原理

超真空环境下向样品射入1次离子束,从样品的浅表层(1~3nm)释放出2次离子。将2次离子导入飞行时间(TOF型)质谱仪,就可以获得样品最表层的质谱。此时,再通过调低1次离子的照射量,检测保留了表面成分化学结构的分子离子和部分碎片离子,就可以获取最表层的元素构成和化学结构的信息。

质谱

飞行时间(TOF型)质谱仪

由于脉冲后1次离子的照射而产生的2次离子在一定能量下被加速,根据质量不同以不同速度(轻离子高速,重离子低速)进入质谱仪。达到检测器的时间(飞行时间)与质量有着函数关系,通过精密测定此飞行时间的分布可以获取质谱。

质谱

来源:分析测试百科网


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